傳統的探針測量方法只能獲取到被測件少量的點數據，效率低，無法滿足現代工業數字化的測量需求。而基于白光干涉技術的白光干涉儀可以進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過程，通過系統軟件分析器件表面3D圖像并進行數據處理與分析，實現了器件表面形貌3D測量的效率高與簡化性，提高了測量效率，且降低了系統的復雜性。

中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀檢測設備以白光干涉技術為原理，結合3D 建模算法、精密Z向掃描模塊等對器件表面進行非接觸式掃描，同時通過系統軟件建立表面3D圖像，之后進行數據處理與分析，獲取參數，實現器件表面形貌3D測量。

產品功能

1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；

5）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數據報表導出功能。

SuperView W1白光干涉儀檢測設備分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

注意事項

1、現場開箱后，核對設備型號、配件規格與數量；確認外觀無劃傷或掉漆；確認各部件有無損壞或異常。
2、使用中圖儀器專用玻璃標準器進行設備的校準，確認儀器符合技術協會的要求。
3、驗收標準參照現行國家（或行業）標準以及本技術協議為準。
4、驗收合格后，供方需和需方簽訂《產品驗收報告》。