臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。長期以來，此類儀器被歐美廠商壟斷，國內(nèi)尚無廠商可提供同類產(chǎn)品，鑒于此，我司開發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的臺階儀。

臺階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。

CP200臺階儀顯著特性：

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機(jī)

5.全自動(dòng)XY載物臺， Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺

6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價(jià)提供充分支持。

CP200臺階儀典型應(yīng)用：

光刻膠臺階高曲線測量

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