國產(chǎn)激光干涉儀是一種精密測量儀器，利用激光干涉原理進(jìn)行測量和分析。通過將激光束分為兩路，并通過反射、干涉和檢測等過程，實(shí)現(xiàn)對物體表面形貌、位移、震動等參數(shù)的測量。其基本原理為干涉光束之間的相位差變化與待測參數(shù)相關(guān)聯(lián)，通過對干涉光的分析和處理，可以獲得高精度的測量結(jié)果。
 

　　功能：
 

　　高精度測量：具備高精度測量能力，可以實(shí)現(xiàn)亞微米級別的位移和形貌測量。這對于一些需要高精度測量的領(lǐng)域，如微細(xì)加工、納米技術(shù)研究等具有重要意義。
 

　　實(shí)時監(jiān)測：可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時監(jiān)測和反饋控制，能夠?qū)Υ郎y物體的變化進(jìn)行快速準(zhǔn)確的檢測，并及時調(diào)整參數(shù)或處理方式。這對于工程和制造業(yè)中的在線監(jiān)控和質(zhì)量控制至關(guān)重要。
 

　　非接觸性測量：國產(chǎn)激光干涉儀采用非接觸性測量方式，可以避免傳統(tǒng)測量方法可能引起的表面損傷或污染問題。這對于對待測物體要求較高的場景，如光學(xué)元件、精密機(jī)械零件等具有特別的優(yōu)勢。
 

　　表面形貌測量：可以通過測量物體表面的干涉圖案來獲取其形貌信息。它可以實(shí)現(xiàn)對平面、曲面和復(fù)雜結(jié)構(gòu)等不同形狀的物體進(jìn)行精確的形貌測量。
 

　　位移測量：可用于測量物體的微小位移，例如材料的膨脹、振動和微動等。它可以實(shí)時監(jiān)測物體的位置變化，并提供高精度的位移測量結(jié)果。
 

　　薄膜厚度分析：可以應(yīng)用于薄膜的厚度和折射率分析。通過測量干涉圖案的變化，可以準(zhǔn)確計(jì)算薄膜的厚度和其它光學(xué)參數(shù)，對材料的質(zhì)量和性能進(jìn)行評估。
 

　　振動分析：可以檢測物體表面的微小振動。它可以用于機(jī)械結(jié)構(gòu)的模態(tài)分析、振動模式的測量和噪聲分析等領(lǐng)域，為工程振動問題的研究和分析提供有力工具。
 

　　光學(xué)元件檢測：可應(yīng)用于光學(xué)元件的加工和檢測中。它可以實(shí)時監(jiān)測光學(xué)表面的形貌誤差、表面質(zhì)量和光學(xué)性能，為光學(xué)元件的制造和質(zhì)量控制提供有效支持。
 

　　總的來說，國產(chǎn)激光干涉儀具備高精度測量、實(shí)時監(jiān)測和非接觸性測量等功能，廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、工程應(yīng)用和制造業(yè)等領(lǐng)域，為相關(guān)行業(yè)提供了重要的測量和分析手段。